主要用途
JCL系列逆变偏压电源主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)等。主要作用:对被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。合理选用偏压电源可以有效地抑制工件表面打火,明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。JCL系列偏压电源是传统直流偏压电源的更新换代产品。
主要特点
1.采用先进的开关电源技术,具有体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小等优点。JCL系列偏压电源在节能和镀膜工艺的稳定性上显示出明显的优势。
2.具备自动稳压功能,可在电网电压和负载波动情况下,保证电源高效、稳定地工作,充分保证镀膜工艺的重复性。
3.针对实际工作时存在的频繁打火现象,设计了多重实用保护措施。JCL系列电源能在频繁打火时充分保护电源及生产工件不被损坏,并且能连续稳定工作。
4.直流/脉冲电压、脉冲宽度、脉冲频率等均能在面板上方便地调节。
5.可选择近地手动控制、远端手动控制、模拟量控制接口和数字控制接口