GC-9870型网络化（电子流量控制）
●气体压力、流量测量：指针式压力表方式、电子压力流量方式
●全电子气体压力、流量测量系统：单模块最大测量路数：16路
●EPC、EFC工作模式：3种；恒流模式、恒压模式、分流模式
●EPC、EFC工作气体：4种；氮气、氢气、空气、氦气
●EPC、EFC程升：4阶
●EPC、EFC控制量程：压力：0～0.6Kpa；流量0～100sccm或0～500sccm（空气）；
●EPC、EFC控制精度：压力0.01Kpa；流量0.01sccm；
●压力传感器：
准确度：满量程的2%

11/02 00:22