JCL-CK系列磁控溅射电源
火自动保护功能,既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了
靶面清洗速度。
4．具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
5．主要参数均可大范围连续调节。

其中，孪生靶磁控溅射电源也称为中频磁控溅射电源，有正弦波、双极性方波两种输出方式（正弦波输出时工作
频率可高达200KHz），专用于孪生靶磁控溅射及绝缘材料的磁控溅射镀膜工艺，是镀制ITO膜、介质膜、绝缘保护膜
等产品必备的专用电源。

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